超高真空高温炉

当前位置: 产品中心 > 超高真空高温炉 >

高真空高温蒸发炉

浏览量:63

产品概述:

该设备主要用于在高温(最高2600℃)、真空环境或低压气氛保护下,对功能材料进行蒸发提纯、热处理、烧结等工艺制程,该设备采用公司专有高真空系统,能防止高温工艺制程对非金属功能材料表面的影响和侵蚀,采用中频感应或电阻方式,对石墨、铱金、钼、钨等难熔坩埚进行加热,具有效率高、稳定可靠的特点。

详细信息

1. 加热方式:中频感应或电阻加热,匹配专用高精度加热电源,可调可控;

2. 最高工作温度:最高温度2600℃长期运行,可选配900℃、1300℃、1700℃、2300℃和2600℃,根据不同的工作温度选用加热方式和保温材料,匹配专用热场。

3. 仪表控温精度:0.3级,根据客户实际使用温度选配热电偶,选用进口30段温控仪,匹配全数字化功率控制器,温度控制精度±1℃,过冲不超过2℃;

4. 坩埚尺寸:根据客户需求定制,可选择坩埚尺寸和热均匀区大小,若选热均匀区大小,温度偏差不超过2%,坩埚可选用钨钼、铱金、石墨和石英等难熔材料(铱金坩埚客户自行采购);

5. 具有升温速率调节功能,二路质量流量计(可选),可选配氢气保护条件下退火,默认保护气体为氮气、氩气,准确度±1% F.S,线性±0.5 % F.S,重复精度±0.2% F.S;;

6. 极限真空度:优于8×10-4 Pa(冷态、空载),选用分子泵系统为8×10-5 Pa;

7. 真空排气机组采用水冷方式,默认为扩散泵高真空系统,若对洁净度有苛刻要求可选配分子泵无油真空系统;

8. 设备的漏率:低于6.0×10-7 Pa·m3/s,全是用SUS304不锈钢制造,内抛光外电解或酸洗工艺;

9.真空测量:两路电阻规,一路电离规;对真空室和真空管道分别精确监控,带数据通讯,测量范围:1×1051×10-5Pa,电阻规和电离规均采用防爆型金属封结真空规。
        10.标准配置为西门子PLC+人机界面,能够执行自动抽真空、自动温压强、自动加热、自动运行存储工艺和自动报警功能。