真空系统及部件

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磁控溅射平面阴极

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产品概述:

圆形平面磁控溅射阴极,为公司引进、消化和吸收的国际一流产品,与国内著名的磁性材料研发机构合作开发,与进口产品无明显差异。

详细信息

1.1型号:CMY150(定制各种尺寸) 

1.2真空漏率:<10E-9Torr L/S

1.3电压:<1000V  

1.4功率密度:25W/cm2 

1.5适用电源:DC/Pulsed-DC/RF

1.6适用温度:<450℃;

1.7磁路:磁路模块化,方便更换 

1.8安装方式:CF接口,方便安装  

1.9冷却方式:间接水冷;

1.10能够满足共溅射和垂直溅射,能够与设备控制系统兼容;



2.随动挡板。

2.1接口尺寸:CF或威尔逊接口电动挡板结构;

2.2密封方式:无接触式静密封;

2.3能够微调挡板结构,在溅射源正常工作后调整挡板角度;

2.4带有快卸接口,能够迅速拆卸和安装。

2.5挡板数据接口和设备控制系统能够兼容。