多工能真空镀膜机

调距红外蒸发镀膜机

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产品概述:

“近距红外蒸发真空镀膜机”正式推向市场,探索薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池的重要手段,也用于有机柔性薄膜制备,为公司专利产品“一种近距红外热蒸发真空镀膜机”,专利号:CN201920208976.6,接受桌面式和一体式定制。

详细信息

真空腔体:根据客户需求定制。

真空漏率:1X10-6Pa.L/S
      极限真空优于5X10-5Pa,标准配置分子泵系统。
      加热功率:小于12KW
     
温控仪表:配置触摸屏温控仪和专用温控仪表,自主编程的温控系统,配置功率控制器,带有方便的温度分配和功率分配接线端;
     
腔体:功能材料透明腔体,直径不低于240mm,耐高温不低于1000℃,短期工作可达到1200℃。
     
温度隔离罩:配置专用温度隔离罩,降低环境温度对系统的影响,同时具有安全隔离功能。
     
配置2套坩埚,并设有陶瓷封结的温度传感器,精度为:±1℃,过冲不超过2℃;
     
配置2套基片温度平衡系统,配置进口精密耐高温专用传感器,精度为:±1℃,响应速度极快,特别适合超精密温度控制;
      
配置能量反射屏一套,配置有专用沉积环境仓,沉积反应仓可扩展至水冷系统;
     
配置移动小车一套,并配置不锈钢安装板和推手,配置福马轮4套,可根据客户实际需求设计为一体机和桌面式;
     
配置有SUS304柔性真空管路和相关标准件;
     
配置三路复合真空计一套,带RS485控制端口,配置有不锈钢毛细管路泄压阀,可以沉积柔性薄膜材料;
     
可选配洁净无油高真空真空系统。