多工能真空镀膜机

电磁耦合磁控溅射平台

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产品概述:

该设备为公司根据客户工艺需求定制,与中国科学院某研究所国家重点实验室联合研制,先后获得国家级奖励3项,联合申报国家专利2项,用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域,服务于科研和国家重大项目需求,具有多功能、高稳定和国内首创的特点,欢迎各位联合研制。

详细信息

设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。
      真空腔体:φ900X1050,双层水冷;(可根据实际需求定制)
      真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统;
      真空抽速:4000-7000L/S,进口全量程复合真空计,全金属防爆真空规;
      极限真空:6.7X10-5Pa;(根据客户选择主泵确定)
      磁控靶组件:4个矩形靶,4个圆柱靶,根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;
      离子源:2套线性离子源,匹配专用电源;
      气路:4路反应气体,进口质量流量计,1路毛细保护气路;
      烘烤温度:400℃,不锈钢铠装加热器,可拆卸快装结构;
      工件盘:导轨多工位行星工件盘2套(标准配置为12工位和24工位,可扩展数百件工件共同沉积),工件盘装夹移动小车一辆;
      控制系统:西门子PLC+西门子人机界面+工业控制计算机。
      特别说明:该设备为公司与中科院某所合作研制,获得国家科技进步、国家科技发明奖、机械工业科技进步一等奖和中科院重大设备专项等国家级奖励,公司提供一揽子技术解决方案,同时与合作伙伴共享知识产权。