多工能真空镀膜机

PVD-or-CVD复合镀膜机

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产品概述:

该镀膜机集成PVD磁控溅射和PECVD化学气相沉积于一体,能够满足客户特定需求,采用磁力传递机械手,样品可在三个腔室任意转移,能够沉积多功能薄膜,满足国家重大科研需求。

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