超高真空系统

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JK高真空系统

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产品概述:

公司研发的JK型高真空系统广泛运用于真空镀膜、工业炉和半导体专用设备。

详细信息
        公司研发的JK型高真空系统广泛运用于真空镀膜、工业炉和半导体专用设备,该设备具有价格低廉、性能稳定和真空度高的特点,是目前较低投入获得高真空的标准设备,由于主泵没有运动部件,因此该设备故障率极低,特别适合对稳定性有特殊需求的行业,但是也存在能耗较高的特点,根据客户需求,可选配低温冷阱,降低油分子对室体的污染。


特别说明:

     根据用户不同的工况和工艺要求,可使用旋片泵、滑阀泵、罗茨机组等作为机组前级系统,与主泵扩散泵组成高真空系统,小型JK高真空系统可选配移动小车,满足现场工艺需求,公司致力于工艺与设备的完美匹配。