工业级真空装备

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surpass系列电子束光学镀膜机

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产品概述:

本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜,能够根据客户需求定制。

详细信息

形式:φ650-3500mm,箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,一体机系统。

真空系统:极限真空8X10-5Pa,主泵为复合分子泵\低温泵\扩散泵可选。

真空测量:配三路数字复合真空计,均采用安全防爆金属测量规。

工件架系统。客户需求定制,转速3~30rpm变频可调,工件盘为球形和行星工件盘可选。

烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块,最高烘烤温度300℃,温控精度1℃,过冲不超过2℃。

电子束蒸发源。E型电子束蒸发源系统(E型)1-2套,主体有屏蔽罩,配置独立高压控制柜。

旋转蒸发源:电动转位和点动转位,配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。

电阻蒸发源:2套电阻蒸发源。(选配)

膜厚测试系统。配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探头。

离子源辅助沉积系统:一套(选配离子源或高压离子轰击系统)

控制系统:成熟可靠的真空镀膜控制系统,工业级10英寸触摸屏(工控机)和西门子PLC,能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程;支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统,采用声光报警。

说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备完美匹配。