PVDorCVD真空镀膜机

电阻电子束镀膜机

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产品概述:

该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配西门子人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。

详细信息

形式:箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,一体机系统。

真空系统:极限真空5X10-4Pa,主泵为复合分子泵。

真空测量:配三路数字复合真空计,均采用安全防爆金属测量规。

工件架系统。客户需求定制,配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的专用互换工装,转速330rpm变频可调,工件盘为球形和行星工件盘可选,行星工件盘成本较高。

烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块,最高烘烤温度300℃,温控精度1℃,过冲不超过2℃。

电子束蒸发源。8KW电子束蒸发源系统(E)1套,主体有屏蔽罩,单枪、单电源、单扫描,配置独立高压控制柜。(选配或必须配置)

坩埚:坩埚1套,电动转位和点动转位,配置无氧铜坩埚一套。

电阻蒸发源:2套电阻蒸发源。(选配或主配)

膜厚测试系统。配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探头。(选配)

离子源:一套,离子源均匀区域φ400mm,距圆口50CM束流能量不小于300eV。(选配)

控制系统:成熟可靠的真空镀膜控制系统,西门子工业级10英寸触摸屏和PLC,能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程;支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统,采用声光报警。

    说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备完美匹配。