PVD真空镀膜

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ZZS系列电阻电子束镀膜机

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产品概述:

该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,能够满足工业客户小批量生产和科研客户的需求。

详细信息

      

   设备采用箱式结构,真空系统后置,过流部件全采用SUS304材质真空氩弧焊成型;真空系统采用分子泵系统,抽速更快,效率更高,镀膜环境更洁净;磁流体密封技术,传动平稳可靠,耐久性更优;烘烤采用不锈钢铠装加热器,烘烤温度最高达到350℃,采用PID控制;良好的人机界面,采用国际一流电气元件,可实现手动和自动的自由切换,适用于高校、科研院所和企业进行工艺研发和小规模生产,可根据客户工艺需求定制。

   可选配置:在线石英膜厚监控系统,SQC310E型电子束蒸发源,根据需要选单枪或双枪;真空系统前级为干式无油洁净真空系统;蒸发舟可选穴式或环形坩埚;离子轰击清洗系统;行星工件装夹系统。

    说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备完美匹配。