工业级真空装备

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surpass系列复合磁控溅射镀膜机

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产品概述:

该设备为成都超迈光电科技有限公司与中科院某所研制,制备耐腐蚀、固体润焕、表面强化等功能涂层。

详细信息

设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。
      真空腔体:φ650X700双层水冷;(可根据实际需求定制)
      真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统;
      真空抽速:1600L/S,进口全量程复合真空计,全金属防爆真空规;
      极限真空:6.7X10-5Pa;(根据客户选择主泵确定)
      磁控靶组件:4个矩形靶,3个圆形靶,根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;
      离子源:1套线性离子源,匹配专用电源;
      气路:4路反应气体,进口质量流量计,1路毛细保护气路;
      烘烤温度:300℃,不锈钢铠装加热器,可拆卸快装结构;
      工件盘:导轨多工位行星工件盘2套,工件盘装夹移动小车一辆;
      控制系统:西门子PLC+西门子人机界面+工业控制计算机。